微型力传感器发展趋势:
在力的测量中,降低SWaP、增加更多的功能、扩大数据收集范围都是通过更小的传感器来实现的。原始设备制造商最终希望通过使用更少的设备连接到测试平台或产品,以及更少的布线来简化测试。他们还希望用尽可能少的设备来收集相同的数据,以降低成本和简化测试。
在过去的几十年里,微机电系统 (MEMS) 领域的力传感器得到了研究和开发。最常见的 MEMS 力传感器之一是压力传感器,其中包括小型麦克风和气流传感器的应用。从广义上讲,加速器是一种力传感器,因为它将加速度检测为物理量。近年来,触觉传感器,包括多轴力传感器和柔性传感器片,已被进一步研究适用于机器人。各种其他 MEMS 力传感器也正在开发中。这些传感器的传感元件(压阻式、压电式和电容式元件)已开发用于实现足够灵敏的测量。在当今物联网时代,MEMS力传感器是监测物理现象最合适的设备之一,因为它们的尺寸、功耗和通信设备的兼容性。