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吸取给力测试测量
应用概述
半导体芯片这类易碎产品,在相关过程需要进行"轻触"控制,比如穿孔、熔合、粘贴或焊接过程中必须要控制在芯片上施加的力。施力不当可能会损坏芯片或者处理不到位。所以,在装备上 集成一个力传感器来进行闭环控制是非常必要的。
使用产品
微型圆柱型力传感器LCM100,配相应信号处理模块 (如IPM650显表、 IDA10双输出变送器、 IAA300差分输出放大器)。
使用说明
:
* 在驱动和取放端之间安装LCM100力传感器。
* 在驱动加载到芯片的过程中,LCM100能实时精确监测力值大小。
* 输出力值可以显示在手持式显示仪表IHH500或者板面式显示仪表IPM650上。
* 或者,使用IDA100或IAA300还可以输出模拟量连接到PLC的采集端。
* IAA300变送器为差分式输出,低噪声能使其更精确的反馈力值。
LCM100
微型轴向拉压力传感器
IPM650
面板式显示仪表
IDA100
可配置数字放大器
IAA300
应变式放大器