压力传感器的第一个改变就是小型化,之前的压力传感器很大。比如像PA级差压传感器组合是比较传统的传感器,此类传感器缺点就是重量重、体积大。其优点则为有多种介质,包括夹板安装等都已经形成工业标准,同时还可以增加机械保护,如果硅芯片自身过压能力不好,可以通过增加保护膜片来增加过压保护能力。所以我们想是不是可以把这么大的东西搞得越小越好。
首先由于在物联网或工业物联网的应用上没有人再通过查看表头来查看信息了,所有信息最终都会发送到系统中,这就使得LCD、点阵等表头显示不再有意义。在数字化输出中,例如有485、LoRa、无线等形式输出,距离比较近的可以用ZigBee,距离比较远的可以用LoRa来实现。
然后物联网环境中介质一般比较单一,没有那么多复杂和带有腐蚀性的介质,因而可以不用做两个大的夹板溶池,也不需要大的清洗和排液系统,可以通过在传感器的两侧做两个排液孔实现排液,从而进一步降低传感器的成本和体积。
再次不再需要保护膜片。芯片有一个很大的特点就是单边过压,另外,在物联网领域中的小型化场合中不需要太大的耐压能力,因而可以省掉中心保护工艺,再小型化,这样成本也没有增加。
最后必须要有自补偿,对于差压来说,我们还是希望它可以适应各种温度的变化,特别是硅传感器,温度变化很重要。